Grabado isotrópico y grabado anisotrópico de oblea de silicio
Descrição
El grabado de obleas de silicio se divide en isotropía y anisotropía; el grabado de anisotropía puede hacer vías de silicio para empaques 3-D.
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PDF) Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta
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Algo sobre el grabado de obleas de silicio que debe saber
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